根(gen)據被處理氣體的(de)(de)流(liu)量,極板間的(de)(de)電(dian)壓分12KV、16KV至42KV,極板(ban)間(jian)加以足夠(gou)高的(de)(de)電(dian)(dian)壓(ya),在引風的(de)(de)作用下,極區由(you)于負壓(ya)的(de)(de)作用,按照法拉第暗區理(li)論(lun)、光(guang)致電(dian)(dian)離理(li)論(lun)、自由(you)離理(li)論(lun),在常壓(ya)或接近常壓(ya)的(de)(de)條件下有相當(dang)概率的(de)(de)粒(li)子(zi)可能實現低溫(wen)等離子(zi)體。